晶体生长炉《感应加热炉》

结合丰富的晶体生长经验及光学、机械、电子等领域的专业经验，我公司研发了用于晶体生长的感应加热炉。

参数

控制器控制提升机构的提升速度、提升行程和速度

1.提升速度：0.2-10mm/h

2.提升行程：0-500mm

3转速：0.5-40rpm

感应参数：

1.工作电压：380V AC，50/60Hz，三相

2.输出电流：42a（需要100a空气开关）

3.**输入电流：25 kW

4.振荡频率：30-80 kHz

5.循环率：80%

6.感应线圈：外径150mm x内径140mm x高90mm

7.保护：配备水压、超温、超功率保护

温度控制参数：

工作电压；208~240V交流，单相

采用PID温度控制，可设置30个温升和温降程序

设置超温和电偶断开保护

温度控制精度：+/-3ºC

采用C型热电偶，探头伸入石墨坩埚内

连续工作温度：1000ºC~2000ºC

**加热速率：10ºC/S（1000ºC-1200ºC）8ºC/S（1200ºC~1500ºC）

炉体尺寸：内径为400mm，高度为700mm

密封法兰

顶部法兰：不锈钢折叠法兰，带1/4“铠装接口（可插入热电偶），安装有顶阀

底部法兰：底部法兰接口为kf25接口，可通过波纹与真空泵连接

定制：可根据客户需求定制选择。

中科瑞晶(杭州)科技有限公司/中国科学院上海光学精密机械研究所的资深高级工程师、工学硕士、博士可以为公司、学校、科研院所提供高温炉设计方案。

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