蓝宝石衬底有哪些性能要求？怎么区分蓝宝石晶圆的好坏？

‌蓝宝石衬底主要的性能要求包括高硬度、化学稳定性、高热导率、高光学透明性以及良好的电绝缘性‌。以下是详细分析：

• ‌高硬度和耐磨性‌：蓝宝石的莫氏硬度为9，仅次于金刚石，能抵抗物理磨损和划痕，适用于恶劣环境。

• ‌化学稳定性‌：能耐受各种酸、碱和有机溶剂，在化学腐蚀环境下保持稳定。

• ‌高热导率‌：室温下热导率约为42 W/m·K，散热性能优越，适合高功率器件。

• ‌高光学透明性‌：在广泛的光谱范围内具有高透过率，能减少发光过程中对光的吸收，提升光提取效率。

• ‌电绝缘性‌：晶体内部结合紧密，杂质或缺陷少，具有良好的电绝缘性能‌12。

这些性能要求使得蓝宝石衬底在LED、光电子器件、消费电子产品及航空航天工业等领域得到广泛应用。

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